江苏亚电科技取得一种单片晶圆清洗装置温度控制方法和系统专利防止晶圆因为温度不同导致开裂
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江苏亚电科技取得一种单片晶圆清洗装置温度控制方法和系统专利，防止晶圆因为温度不同导致开裂
金融界2024年8月21日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏亚电科技股份有限公司取得一项名为“一种单片晶圆清洗装置温度控制方法和系统“，授权公告号CN117912991B，申请日期为2023年12月。专利摘要显示，本申请涉及一种单片晶圆清洗过程温度控制方法及系统，在切换清洗液或者清洗完要进行干燥时，先对晶圆背面吹出清洗液或者干燥风相同温度的气体。之后再根据清洗过程监测晶圆两面的温度，微调控制晶圆背面喷出的气体的温度，使晶圆两面的温度保持一致。通过保持晶圆两侧的温度一致，江苏亚电科技取得一种单片晶圆清洗装置温度控制方...